案例介紹

• 項目名稱:上海青浦區(qū)半導體電子集成電路百級千級凈化車間裝修工程案例
• 建筑面積:2850.80
• 服務項目:半導體集成電路無塵室
• 項目地址:上海市青浦區(qū)
• 施工工期：90天
• 潔凈等級:百級、千級

案例詳情

　　一、項目概況

　　1、建筑物性質(zhì)、規(guī)模

　　本工程位于上海青浦區(qū)嘉松中路，為上海某某電子有限公司車間凈化裝修工程，本工程車間有一層，建筑建筑面積為2850.80平方米，其中凈化車間面積為2420.08平方米，剩余為辦公區(qū)域。

　　2、項目定位

　　該項目廠房建成后主要生產(chǎn)電子芯片，因此以千級與百級半導體凈化車間要求來進行建設。

　　3、設計依據(jù)

　　《采暖通風及空氣調(diào)節(jié)設計措施》GB50736-2012

　　《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2013

　　《工業(yè)企業(yè)廠房設計規(guī)范》GB12348-90

　　《建筑設計防火規(guī)范》GB50016-2014

　　《通風與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗收規(guī)范》GB50243-2016

　　《潔凈室施工及驗收規(guī)范》GB50591-2010

　　甲方對項目的設計要求、提供的工藝條件以及工藝土建等專業(yè)提供的資料

　　二、平面布置

　　商業(yè)機密，業(yè)主不勻透露。

　　三、設計施工范圍

　　1、生產(chǎn)車間潔凈空調(diào)系統(tǒng)工程，

　　2、辦公區(qū)普通空調(diào)系統(tǒng)工程，

　　3、潔凈車間內(nèi)部及普通車間墻板及天花工程，

　　4、給排水及強電布設工程

　　5、新風系統(tǒng)工程

　　6、空壓機設備及相關管道工程，

　　7、消防改造工程

　　四、設計參數(shù)

　　室內(nèi)設計參數(shù)

　　百級區(qū)域：溫度23±2℃，濕度：45±5%，噪聲≤60;

　　千級區(qū)域：溫度23±2℃，濕度55±10%，噪聲≤65。

　　換氣次數(shù)：百級：截面風速0.3~0.5m/s (百級車間需做架空地板，局部百級可用潔凈棚) 千級：50~60次/h

　　五、空調(diào)系統(tǒng)

　　潔凈無塵生產(chǎn)區(qū)采用AHU(空氣處理機組)+HEPA(高效)+FFU：新風與部分回風混合后送人潔凈室，F(xiàn)FU潔凈循環(huán)，采用上送風側(cè)下回風的氣流組織的方式以滿足室內(nèi)溫度與濕度等要求。

　　六、風管系統(tǒng)

　　空調(diào)、新風管道用鍍鋅鋼板，材質(zhì): 鍍鋅鋼板;形狀: 矩形;規(guī)格: D<=800mm;板材厚度: 0.65mm;接口形式: 咬口;

　　七、螺桿空氣壓縮機系統(tǒng)

　　1、啟動

　　螺桿空壓機主機采用星三角轉(zhuǎn)換空載或變頻軟啟動模式，當主電機在停止狀態(tài)時，進氣閥關閉，放空閥開啟，主電機在無負載時以星形啟動，同時斷水電磁閥得電，斷水閥開啟，6～10秒后轉(zhuǎn)成三角形運行，這時壓縮機主機通過進氣閥上的進氣小孔吸氣并壓縮到水氣桶內(nèi)，建立了約0.2～0.3MPa的系統(tǒng)初始壓力，使水氣桶內(nèi)的水經(jīng)過冷卻器、斷水閥及水過濾器后向主機供水。

　　2、加載

　　主電機轉(zhuǎn)成三角形運行后約5～10秒，控制器使加載電磁閥得電，加載電磁閥打開，放空閥關閉，進氣閥開啟，主機開始負載運行，當水氣桶內(nèi)壓力超過0.4MPa時，最小壓力閥打開，壓縮機開始向外供氣。

　　3、卸載—加載

　　當控制器檢測到系統(tǒng)壓力達到卸載壓力時，控制器使加載電磁閥斷電，這時進氣閥關閉，放空閥開啟，當外部壓力大于水氣桶壓力，最小壓力閥關閉，壓縮機繼續(xù)運轉(zhuǎn)，并通過進氣閥小孔吸氣，壓縮至水氣桶內(nèi)，放空閥開啟放空，使水氣桶內(nèi)的壓力保持在0.4MPa，以維持系統(tǒng)的正常運行。這時主電機是空載運行，電流為滿負荷的15%左右。當外部供氣壓力下降至加載壓力時，控制器使加載電磁閥得，放空閥關閉，進氣閥打開，壓縮機加載運行，開始向外供氣，如此循環(huán)動作。

　　4、水氣分離

　　壓縮機工作時，水氣桶內(nèi)的水由系統(tǒng)壓力驅(qū)動，經(jīng)冷卻器、水過濾器及斷水閥向主機內(nèi)噴水，壓縮機排出的是水氣混合物，經(jīng)水氣桶時，由于氣流產(chǎn)生的離心力及碰撞等作用，使水氣混合物中99.99%以上的水分離沉淀在水氣桶中，殘余的一點點水混合在壓縮空氣中經(jīng)由最小壓力閥排出水氣桶外。

　　5、自動補排水

　　當壓縮機持續(xù)進行壓縮及冷卻時，空氣中的水分便凝結(jié)累積在水氣桶內(nèi)，水位上升，若水位高于正常時，自動排水閥開啟，排出多余的水分;當濕度較低(如冬天)或是冷卻器效率較差造成溫度上升，桶內(nèi)的水氣隨著空氣排出，水位降低，若水位低于正常時，自動補水閥開啟，由壓縮機吸氣側(cè)補充水進入水氣桶內(nèi)。

　　6、主機運行溫度及冷卻

　　噴水螺桿機主機的運行溫度應維持在≤環(huán)境溫度+20℃，這樣可使?jié)櫥艿玫接行Х蛛x，而不會因高溫使水汽化或高溫。當壓縮機一開機時冷卻風扇就得電，壓縮機水得到冷卻，冷卻后的壓縮機水噴至主機內(nèi)，使主機溫度下降。

　　7、停機

　　停機時，壓縮機會先卸載運行15～35秒，當水氣桶壓力下降0.4MPa時，主接觸器斷電，主電機停止，同時斷水電磁閥斷電，斷水閥關閉。

　　八、廢氣工程

　　因為半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常運用風機抽取工藝進程中蒸發(fā)的各類廢氣，因而半導體職業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以蒸發(fā)為主。表中給出了不同生產(chǎn)工藝排放的廢氣組成。這些廢氣排放首要可以分為四類：酸性氣體、堿性氣體、有機廢氣和有毒氣體。

　　九、自控體系

　　因為核算機枝術、操控技能、通訊技工及圖畫技能的發(fā)展，使微核算機操控技能在制冷空調(diào)自動操控的使用愈來愈普遍。傳統(tǒng)操控體系在引人微核算機后，就可以充分利用核算機的強大算術運算、邏輯　運算及記憶等功用，運用微機指令體系，編制出契合操控規(guī)則的軟件。微機執(zhí)行這些程序，就能完成被控參數(shù)的操控與辦理，如數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理等。

　　核算機的操控進程可歸納為實時數(shù)據(jù)采集、實時決議計劃和實時操控三個過程。這三個過程不斷地重復進行就會使整個體系依照給定的規(guī)則進行操控、調(diào)節(jié)。同時，也對被控變量及設備運行狀態(tài)、毛病等進行監(jiān)測、超限報警和維護，記錄歷史數(shù)據(jù)等。

　　應該說，核算機操控在操控功用如精度、實時性、可靠性等方面是模擬操控所無法擬操控所無法比擬的。更為重要的是，因為核算機的引入而帶來的辦理功用(如報警辦理，歷史記錄等)的增強更是模擬操控器根本無法完成的。因而，近年來，在制冷空調(diào)自動操控的使用上，尤其在大中型空調(diào)體系的自動操控中，核算機操控已經(jīng)占主導地位。